산업용 초음파 세척기

Rigibot에 의한 자동반송 방식을 사용한 최적의 세척장비로서 반도체 관련 초정밀 세척에 적합한 CUSTOMIZE가 가능한 장비 입니다(Class 10)

일반적인 세척방식은 Ultrasonic Wash → Ultrasonic Rinse1.2.3 → DIW Rinse → CDA/N2 Dry → Vacuum Dry 순서이고,
장비구성은 2~5개의 초음파관련 Wet Station과 3~5개의 Dry Station으로 구성되어 있습니다.

3개의 Process Station은 가장 일반적으로 적용 가능한 범용 세척기로 사용 가능하며, 5조(wash-wash-rinse-rinse-dry) 구성은 Solvent조와 함께 조합하여 System을 복합적으로 구성 할 수 있습니다