산업용 초음파 세척기

Rigibot에 의한 자동반송 방식을 사용한 최적의 세척장비로서 반도체 관련 초정밀 세척에 적합한 CUSTOMIZE가 가능한 장비 입니다(Class 10)

일반적인 세척방식은 Ultrasonic Wash → Ultrasonic Rinse1.2.3 → DIW Rinse → CDA/N2 Dry → Vacuum Dry 순서이고,
장비구성은 2~5개의 초음파관련 Wet Station과 3~5개의 Dry Station으로 구성되어 있습니다.

3개의 Process Station은 가장 일반적으로 적용 가능한 범용 세척기로 사용 가능하며, 5조(wash-wash-rinse-rinse-dry) 구성은 Solvent조와 함께 조합하여 System을 복합적으로 구성 할 수 있습니다

신개념의 표준화된 장비이며, Loading/Unloading이 있으며 Mass Production에 맞도로구성되었습니다.  각 조별단위로 구성되어 있으며, 확장성및 다양한 모듈로 초음파 세척기 구성이 용이하며, 표준화된 플러그엔플레이 기능으로 구성된 초음파조, 린스조, 건조조 구성이 가능합니다.
주파수는 25/40/58/132/192kHz가 가능하며, Multi-Frequency(특허)도 가능합니다. 특히 280/360/470/720/1000kHz의 Megasonic Frequency도 초정밀 부품세척이 가능합니다. 기본적인 Tank Size는 30㎝ x 460㎝ x 30㎝ 에서 46㎝ x 66㎝ x 46㎝이 있습니다.

하나또는 두개의 Rigibot으로 Tray가 자동반송되며, 다양한 종류의 부품 세척이 가능한 초음파 세척기로서 최적의 시스템 구성으로 최적의 공간 활용이 가능한 장비입니다.
간단한 Touch Panel 조작으로 Loading에서 Unloading까지 완전 자동화된 장비 입니다.(Pick and Place)
타사 장비와 비교하면 쎄라믹 진동자의 성능 및 내구성이 월등하여 고장이 적으며 MASS PRODUCTION에 적합합니다.

자동반송장치가 있으며, 다양한 종류의 부품 세정이 가능한 초음파 세척기로서 최적의 시스템 구성으로 최대의 공간 활용이 가능한 장비입니다.

세정 방식은 U/S Wash→ U/S Rinse1.2 → CDA/N2 Dry 로 구성되어 있습니다.
장비구성은 3, 4, 5개의 Ultrasonic Station을 추가 할 수 있습니다.
기본적인 Tank Size는 25㎝x 36㎝ x 25㎝ 에서 61㎝ x 92㎝ x 51㎝가 있습니다. (Customized tank sizes 가능)
3개의 Process Station은 가장 일반적으로 적용 가능한 범용 세척기로 사용 가능하며, 5조(wash-wash-rinse-rinse-dry) 구성은 Solvent와 함께 조합하여 System을 구성 할 수 있습니다.